高一致性平面二维纳米光栅干涉光刻加工关键技术研究

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该负责人其他项目

• 面向极紫外光刻机的原子精度六自由度光栅测量关键技术研究（国自然，李星辉，2025）
• 基于混合编码平面光栅的绝对式六自由度纳米/亚角秒测量机理与系统（国自然，李星辉，2022）
• 沙尘暴天气对甘肃河西走廊居民缺血性心脏病的影响研究（国自然，李星辉，2016）
• 湖南省瑶族转用汉语方言情况调查研究（国社科，李星辉，2012）
• 湖南省瑶族转用汉语方言情况调查研究（国自然，李星辉）

清华大学其他项目

• 介入时机与干预强度：科林格里奇困境下标准化治理对人工智能创新的双边效应研究（国自然，韩志弘，2026）
• 环境规制多任务挤出效应及其治理绩效影响与优化路径研究（国自然，张明昂，2026）
• 强降雨驱动下流域总磷极值响应的连通转化机制与风险分异（国自然，孟凡琳，2026）
• 跨境电商平台自治的“技术—规则”共演逻辑与治理策略研究——基于生态治理视角（国自然，靳景，2026）
• RAS突变型癌症中细胞自噬的差异化调控机制及功能研究（国自然，-，2025）
• 数字经济时代收缩城市空间重构的智能测度、机理认知与规划设计响应研究（国自然，龙瀛，2025）
• 高超声速飞行器发动机热光伏耦合系统的热光协同调控机制研究（国自然，齐寅珂，2025）
• 面向长视频生成的原生稀疏注意力机制（国自然，黄浩峰，2025）

应用光学学科其他项目

• 基于位相测量偏折术的在线高精度高分辨波前检测方法与关键技术（国自然，李大海，2020）
• 动态非均匀光强分布下的多波前校正器解耦控制及优化（国自然，程涛，2020）
• 基于相位编码自由曲面单镜的大视场高分辨计算显微成像技术（国自然，卞殷旭，2020）
• 准三维亚波长结构分光元件的耦合杂化效应研究和跨波段高效率调控（国自然，程鑫彬，2020）
• 非可控光环境下基于多光谱成像技术的高精度色度和光谱图像获取方法研究（国自然，徐鹏，2020）
• 基于氟碳等离子体刻蚀和氧等离子体修饰的熔石英元件表面紫外损伤特性研究（国自然，邵婷，2020）
• 容性耦合等离子体光学加工去除函数建模及其调控机制研究（国自然，范斌，2020）
• 磁表面等离子零维谐振腔及其应用的研究（国自然，沈林放，2020）