薄膜界面特性对多层膜纳米光栅线宽粗糙度的影响

项目负责人程鑫彬
依托单位同济大学
立项年份2014
学科分类机械测试理论与技术
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥86.0万
批准号51475335

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