区熔硅单晶中“热生旋涡缺陷“形成机理的研究

项目负责人李秀梅
依托单位有研工程技术研究院有限公司
立项年份1988
学科分类半导体器件物理
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥3.0万
批准号68876117

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