面向MEMS压力传感器的硅纳米线压阻特性研究

项目负责人张明亮
依托单位中国科学院半导体研究所
立项年份2014
学科分类微纳机电器件与控制系统
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥22.0万
批准号61404128

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