无损动态拉曼光谱技术在GaN器件可靠性中的应用研究

项目负责人庞磊
依托单位中国科学院微电子研究所
立项年份2012
学科分类半导体电子器件与集成
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥24.0万
批准号61204086

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