甚高频高速沉积微晶硅薄膜生长特性的研究

项目负责人陈永生
依托单位郑州大学
立项年份2010
学科分类高电压与放电
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥20.0万
批准号51007082

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