| 项目负责人 | 张灵倩 |
| 依托单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 立项年份 | 2019 |
| 学科分类 | 微纳机电器件与控制系统 |
| 资助来源 | 国家自然科学基金 |
| 项目状态 | 已立项 |
| 资助金额 | ¥23.0万 |
| 批准号 | 61904198 |
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