反应烧结碳化硅超光滑近无损电化学机械抛光理论与方法

项目负责人杨旭
依托单位西安交通大学
立项年份2023
学科分类工程与材料科学部
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥30.0万

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