硅微半球壳陀螺自校准Sigma-Delta测控机理及其单芯片关键技术研究

项目负责人陈方
依托单位中国科学院上海微系统与信息技术研究所
立项年份2019
学科分类微纳机电器件与控制系统
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥59.0万
批准号61974156

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