基于MEMS技术的低损耗小步进可调太赫兹滤波器关键技术研究

项目负责人张乃柏
依托单位中国电子科技集团公司第五十四研究所
立项年份2015
学科分类微纳机电器件与控制系统
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥20.0万
批准号61504124

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