基于双面两步金属催化化学腐蚀法的穿透、超高深宽比功能微结构阵列加工基础研究

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该负责人其他项目

• 半干旱区旱作农田土壤微食物网结构和功能对保护性耕作的响应机制（国自然，李海亮，2025）
• 和平愿景与文明对话研究（国社科，李海亮，2011）
• 和平愿景与文明对话研究（国自然，李海亮）

中国科学院微电子研究所其他项目

• 基于超疏水纳米表面多孔硅膜的分布式热点液膜沸腾散热机理研究（国自然，付融，2025）
• 基于定序表面调控的铌超导键合界面低温构筑及机理研究（国自然，康秋实，2025）
• 用于细胞屏障精准表征的空间跨上皮电阻分析方法研究（国自然，张灵倩，2025）
• 氧化铪基铁电晶体管中基于能量耗散机制的栅结构缺陷产生过程研究（国自然，徐昊，2025）
• 基于物理随机编码的单光子阵列探测方法研究（国自然，朱精果，2025）
• 基于高纯锗键合异质结的新型硅漂移X/γ射线探测器研究（国自然，李星，2025）
• 基于电光调制光频梳的高精度原位溯源绝对测距技术研究（国自然，李润敏，2025）
• 极低抖动硅基宽带毫米波频率综合器的关键技术研究（国自然，杨尊松，2025）

半导体材料学科其他项目

• BAs与金属半导体相互作用的研究（国自然，戴宪起，2020）
• 单晶BiVO4薄膜的选择性掺杂与载流子输运机理研究（国自然，张文瑞，2020）
• VO2基智能窗多层膜微纳米结构设计及其性能优化（国自然，周立伟，2020）
• 基于溅射法的宽禁带CuGaSe2薄膜及太阳电池异质结制备与性能研究（国自然，魏要伟，2020）
• 基于原位沉积纳米中间层的β相氧化镓-金刚石表面活化室温键合及其机理研究（国自然，母凤文，2020）
• 基于狄拉克源极的二维高迁移率InAs量子器件输运及其界面性质的研究（国自然，宁锋，2020）
• 面向相变神经元突触器件的n-p型异质结多阻态漂移微观机制及空洞自愈行为研究（国自然，王国祥，2020）
• 全耗尽绝缘体上硅(FD-SOI)材料及其制备工艺中的基础问题研究（国自然，魏星，2020）