激光剥离GaN表面纳米级平整度的控制

项目负责人张保平
依托单位厦门大学
立项年份2010
学科分类半导体光电子器件与集成
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥50.0万
批准号91023048

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