复杂芯片制造过程实时调度与优化控制理论和算法研究及应用

项目负责人刘民
依托单位清华大学
立项年份2008
学科分类控制系统与应用
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥200.0万
批准号60834004

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