压电致动器开关电荷泵驱动方式研究

项目负责人冯志华
依托单位中国科学技术大学
立项年份2011
学科分类微纳机械系统
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥60.0万
批准号51175488

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