基于AFM加工技术的自组装有序纳米微结构形成机理研究

项目负责人闫永达
依托单位哈尔滨工业大学
立项年份2006
学科分类微纳机械系统
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥28.0万
批准号50605012

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