采用结构化AFM针尖的纳米加工机理研究

项目负责人闫永达
依托单位哈尔滨工业大学
立项年份2019
学科分类加工制造
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥10.0万
批准号51911530206

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