单晶金刚石等离子体刻蚀-改性复合抛光机理与工艺研究

项目负责人邓辉
依托单位南方科技大学
立项年份2023
学科分类工程与材料科学部
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥55.0万

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