面向SiC晶圆的等离子体高效无损伤加工技术研究

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该负责人其他项目

• 浅海波浪环境下舰船水压场多效应耦合机理与抗干扰智能识别方法（国自然，邓辉，2025）
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• 单晶金刚石等离子体刻蚀-改性复合抛光机理与工艺研究（国自然，邓辉，2023）
• 内建电场与外部光场对Cu2ZnSn(S,Se)4室内柔性光伏电池性能的协同调控作用（国自然，邓辉，2023）
• SIRT3通过调节未折叠蛋白反应及代谢重编程参与银屑病发病（国自然，邓辉，2022）
• 数字社会的法律治理体系与立法变革研究（国社科，邓辉，2020）
• 基于大气等离子体横向刻蚀效应的单晶SiC高效超精密抛光机理与方法研究（国自然，邓辉，2020）
• 基于取向调控和缺陷钝化提升Sb2S3太阳能电池性能的作用机制研究（国自然，邓辉，2020）

南方科技大学其他项目

• 基于三维表观基因组学的代谢相关脂肪性肝病转录调控机制研究（国自然，乔军，2025）
• 四配位硼替氨基酸化学（国自然，任李庆，2025）
• 镍基高温超导体配对对称性的研究（国自然，吕威，2025）
• 硝酸盐感受器Sialin2在细胞核内的分子机制与功能研究（国自然，吴松悦，2025）
• 川滇地区中强震震源深度精确测定研究（国自然，姚强，2025）
• 复合欠驱航天器的智能全驱控制：从分析到综合（国自然，孔贺，2025）
• 细菌新型逆转录酶抗噬菌体免疫机制研究（国自然，宋心怡，2025）
• TREX1新结构域的发现及其在免疫调控中的功能与机制研究（国自然，尚泽华，2025）