基于大气等离子体横向刻蚀效应的单晶SiC高效超精密抛光机理与方法研究

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该负责人其他项目

• 浅海波浪环境下舰船水压场多效应耦合机理与抗干扰智能识别方法（国自然，邓辉，2025）
• 煤气化细渣基光热芬顿-界面蒸发协同处理煤化工废水的机理与材料调控研究（国自然，邓辉，2025）
• 单晶金刚石等离子体刻蚀-改性复合抛光机理与工艺研究（国自然，邓辉，2023）
• 内建电场与外部光场对Cu2ZnSn(S,Se)4室内柔性光伏电池性能的协同调控作用（国自然，邓辉，2023）
• 面向SiC晶圆的等离子体高效无损伤加工技术研究（国自然，邓辉，2022）
• SIRT3通过调节未折叠蛋白反应及代谢重编程参与银屑病发病（国自然，邓辉，2022）
• 数字社会的法律治理体系与立法变革研究（国社科，邓辉，2020）
• 基于取向调控和缺陷钝化提升Sb2S3太阳能电池性能的作用机制研究（国自然，邓辉，2020）

南方科技大学其他项目

• 基于三维表观基因组学的代谢相关脂肪性肝病转录调控机制研究（国自然，乔军，2025）
• 四配位硼替氨基酸化学（国自然，任李庆，2025）
• 镍基高温超导体配对对称性的研究（国自然，吕威，2025）
• 硝酸盐感受器Sialin2在细胞核内的分子机制与功能研究（国自然，吴松悦，2025）
• 川滇地区中强震震源深度精确测定研究（国自然，姚强，2025）
• 复合欠驱航天器的智能全驱控制：从分析到综合（国自然，孔贺，2025）
• 细菌新型逆转录酶抗噬菌体免疫机制研究（国自然，宋心怡，2025）
• TREX1新结构域的发现及其在免疫调控中的功能与机制研究（国自然，尚泽华，2025）

加工制造学科其他项目

• 带热障涂层叶片气膜孔的磁流体辅助电化学放电加工新方法及机理研究（国自然，唐伟东，2020）
• 气膜冷却孔的激光辅助毛细管电解复合加工方法（国自然，康小明，2020）
• 枪钻加工镍基合金微细深孔非线性动力学特性研究（国自然，沈兴全，2020）
• 单晶硅切片加工表面无裂纹损伤创成机理研究（国自然，葛梦然，2020）
• 旋转磁场提高微细电解加工精度的机理与工艺优化（国自然，张长富，2020）
• 超薄氮化镓晶体元件低损伤超精密磨削机理及面形控制基础研究（国自然，李琛，2020）
• 基于结构化刀具的跨尺度三维纳米结构表面加工基础理论与方法（国自然，闫永达，2020）
• 控制力比的衬底用单晶氮化镓纳米磨削损伤抑制方法及相关机理研究（国自然，吴跃勤，2020）