GPa量级MEMS耐高温超高压力传感器

项目负责人赵立波
依托单位西安交通大学
立项年份2009
学科分类微纳机械系统
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥20.0万
批准号50905139

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