亚纳米精度表面制造基础研究

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该负责人其他项目

• 芯片制造中纳米精度表面加工基础问题研究（国自然，路新春，2019）
• 芯片复杂三维异质表面高均匀性平坦化原理与装备稳定性（国自然，路新春，2019）
• 纳米精度制造装备的发展前沿与趋势研究（国自然，路新春，2018）
• 用于微电子领域的环境友好型化学机械抛光工艺（国自然，路新春，2012）
• 极大规模集成电路铜互连平坦化新原理及其应用研究（国自然，路新春，2008）
• 高温自润滑长寿命复合涂层制备及其摩擦学行为研究（国自然，路新春，2005）
• 纳米薄膜的微观机械性能评价理论及方法（国自然，路新春，2001）
• 第十三届国际材料磨损会议（国自然，路新春，2001）

清华大学其他项目

• 介入时机与干预强度：科林格里奇困境下标准化治理对人工智能创新的双边效应研究（国自然，韩志弘，2026）
• 环境规制多任务挤出效应及其治理绩效影响与优化路径研究（国自然，张明昂，2026）
• 强降雨驱动下流域总磷极值响应的连通转化机制与风险分异（国自然，孟凡琳，2026）
• 跨境电商平台自治的“技术—规则”共演逻辑与治理策略研究——基于生态治理视角（国自然，靳景，2026）
• RAS突变型癌症中细胞自噬的差异化调控机制及功能研究（国自然，-，2025）
• 数字经济时代收缩城市空间重构的智能测度、机理认知与规划设计响应研究（国自然，龙瀛，2025）
• 高超声速飞行器发动机热光伏耦合系统的热光协同调控机制研究（国自然，齐寅珂，2025）
• 面向长视频生成的原生稀疏注意力机制（国自然，黄浩峰，2025）