用于微电子领域的环境友好型化学机械抛光工艺

项目负责人路新春
依托单位清华大学
立项年份2012
学科分类机械摩擦学与表面技术
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥5.0万
批准号51211120436

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