芯片制造中纳米精度表面加工基础问题研究

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该负责人其他项目

• 芯片复杂三维异质表面高均匀性平坦化原理与装备稳定性（国自然，路新春，2019）
• 纳米精度制造装备的发展前沿与趋势研究（国自然，路新春，2018）
• 亚纳米精度表面制造基础研究（国自然，路新春，2013）
• 用于微电子领域的环境友好型化学机械抛光工艺（国自然，路新春，2012）
• 极大规模集成电路铜互连平坦化新原理及其应用研究（国自然，路新春，2008）
• 高温自润滑长寿命复合涂层制备及其摩擦学行为研究（国自然，路新春，2005）
• 纳米薄膜的微观机械性能评价理论及方法（国自然，路新春，2001）
• 第十三届国际材料磨损会议（国自然，路新春，2001）

清华大学其他项目

• 介入时机与干预强度：科林格里奇困境下标准化治理对人工智能创新的双边效应研究（国自然，韩志弘，2026）
• 环境规制多任务挤出效应及其治理绩效影响与优化路径研究（国自然，张明昂，2026）
• 强降雨驱动下流域总磷极值响应的连通转化机制与风险分异（国自然，孟凡琳，2026）
• 跨境电商平台自治的“技术—规则”共演逻辑与治理策略研究——基于生态治理视角（国自然，靳景，2026）
• RAS突变型癌症中细胞自噬的差异化调控机制及功能研究（国自然，-，2025）
• 数字经济时代收缩城市空间重构的智能测度、机理认知与规划设计响应研究（国自然，龙瀛，2025）
• 高超声速飞行器发动机热光伏耦合系统的热光协同调控机制研究（国自然，齐寅珂，2025）
• 面向长视频生成的原生稀疏注意力机制（国自然，黄浩峰，2025）

微纳机械系统学科其他项目

• 新冠病毒多重核酸即时检测系统的研发（国自然，张艳，2020）
• 面向灵巧微操作的光镊机器人研究（国自然，李翔，2020）
• 表面量子点修饰的异质有序介孔金属氧化物氢气传感器气敏机理研究（国自然，杨柳，2020）
• 基于声子能量耦合的二维过渡金属硫化物异质结导热特性研究（国自然，王日东，2020）
• 面向低温测试系统的芯片级微组装静电梳齿驱动三维平台研发（国自然，薛高鹏，2020）
• 基于磁液变形镜的液态旋转反射镜像差校正机理和控制方法研究（国自然，吴智政，2020）
• 基于可变模态共振驱动的压电自感知矢量驱动特性与控制机理研究（国自然，李晓韬，2020）
• 面向微半球陀螺仪的模态旋转调制零漂自抑制方法研究（国自然，丁徐锴，2020）