压电/电流变混合超精密步进驱动机理及关键技术研究

项目负责人刘建芳
依托单位吉林大学
立项年份2006
学科分类微纳机械系统
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥28.0万
批准号50605027

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