悬臂梁-质量块结构吸合时间式加速度传感器研究

项目负责人杨恒
依托单位中国科学院上海微系统与信息技术研究所
立项年份2004
学科分类半导体电子器件与集成
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥27.0万
批准号60406009

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