稀薄空气热压膜阻尼理论与实验研究

项目负责人杨恒
依托单位中国科学院上海微系统与信息技术研究所
立项年份2010
学科分类微纳机电器件与控制系统
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥35.0万
批准号61076122

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