基于锰铜薄膜的新型MEMS切削力传感器研究

项目负责人赵友
依托单位西安交通大学
立项年份2017
学科分类微纳机械系统
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥25.0万
批准号51705408

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