基于薄片电极并列放电的第三代半导体晶圆高效精密电火花多片切割新方法研究

项目负责人赵永华
依托单位南方科技大学
立项年份2019
学科分类加工制造
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥27.0万
批准号51905255

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