距离敏感的电调控化学刻蚀纳米加工新方法的研究

项目负责人时康
依托单位厦门大学
立项年份2015
学科分类加工制造
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥65.0万
批准号91523102

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