容性耦合等离子体准原子层刻蚀/沉积的多尺度混合模拟研究

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该负责人其他项目

• 非对称射频容性耦合放电电子动力学及加热机理模拟研究和实验验证（国自然，宋远红，2020）
• 裁剪波形电负性气体容性耦合放电机理的混合模拟和实验验证（国自然，宋远红，2016）
• 脉冲调制射频容性耦合反应性气体放电的机理研究（国自然，宋远红，2012）
• keV-MeV离子束与碳纳米管相互作用的理论研究（国自然，宋远红，2009）
• 双频容性耦合反应性等离子体中纳米尺度尘埃颗粒生长机制及输运过程的计算机模拟（国自然，宋远红，2007）

大连理工大学其他项目

• 量子点—酶靶向耦合驱动的半人工光合系统电子精准传递与代谢调控机制（国自然，程驰，2026）
• 机器学习驱动的Rubisco祖先酶智能挖掘及高效固碳酶创制（国自然，刘栩彤，2026）
• 等离激元超构光纤多物理场调控机制及其光热催化氢敏检测研究（国自然，魏欣然，2025）
• 二氧化碳甲烷化双温区超材料反应器中磁–热–化学协同转换机理研究（国自然，高玉明，2025）
• 泛素活化酶UBA1介导骨髓来源的巨噬细胞极化在心力衰竭中的作用及机制研究（国自然，韩笑，2025）
• 我国制造企业供应链出海的影响因素、治理机制与溢出效应研究（国自然，韩昭君，2025）
• 基于场景的数字创新生态系统涌现机理研究：逻辑、过程与移植（国自然，韩少杰，2025）
• 计划行为理论与双过程理论共同驱动的细粒度网络暴力行为识别与差异化策略组合优化应对模型研究（国自然，陈雪龙，2025）

等离子体中的基本过程与特性学科其他项目

• 双线圈射频感性耦合等离子体源的电源参数对等离子体均匀性及组分调节机制的研究（国自然，孙晓艳，2019）
• 第10届东亚实验室、空间、天体等离子体物理暑期学校和研讨会（国自然，倪蕾，2019）
• 纯欧姆加热的托卡马克启动过程的动理学模拟研究（国自然，彭燕丽，2019）
• 重离子束驱动温稠密物质的PIC/MC/QHD混合模拟研究（国自然，张雅，2019）
• 线性等离子体中的磁零点和三维磁重联初步实验研究（国自然，肖池阶，2019）
• 基于量子流体模型的表面等离激元及其边缘态研究（国自然，郭斌，2019）
• 火星沙尘事件中放电现象的计算与实验研究（国自然，张远涛，2019）
• 三维磁重联重联区结构的实验与数值模拟研究（国自然，鄂鹏，2019）