非对称射频容性耦合放电电子动力学及加热机理模拟研究和实验验证

项目负责人宋远红
依托单位大连理工大学
立项年份2020
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥210.0万
批准号12020101005

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