脉冲调制射频容性耦合反应性气体放电的机理研究

项目负责人宋远红
依托单位大连理工大学
立项年份2012
学科分类等离子体中的基本过程与特性
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥75.0万
批准号11275038

工具

查询更多基金项目 | 智能选刊推荐

该负责人其他项目

大连理工大学其他项目

等离子体中的基本过程与特性学科其他项目