氧化镓晶体磨削表面损伤形成机理及损伤深度和加工效率协调控制方法

项目负责人高尚
依托单位大连理工大学
立项年份2019
学科分类加工制造
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥60.0万
批准号51975091

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