面向单晶SiC基片的单分散纳米金刚石半固结超精密加工技术研究

项目负责人陆静
依托单位华侨大学
立项年份2011
学科分类加工制造
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥26.0万
批准号51105149

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