微芯片上半导体纳米反点阵列激光导向集成及其气敏特性原位研究

项目负责人赵宇鑫
依托单位西安交通大学
立项年份2020
学科分类半导体电子器件与集成
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥59.0万
批准号62074123

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