三维微器件亚微米级精度共焦共像对位机理与精度控制

工具

查询更多基金项目 | 智能选刊推荐

该负责人其他项目

• “十五五”科学基金政务运行体系优化研究（国自然，叶鑫，2025）
• 基于多模态数据融合的智能社会风险预警研究（国自然，叶鑫，2024）
• 基于案例、社会化媒体评论与知识的突发事件应对流程的智能生成方法研究（国自然，叶鑫，2018）
• 亚波长减反射结构的激光诱导损伤机理研究（国自然，叶鑫，2017）
• 基于工艺匹配的微装配高精度位置识别方法（国自然，叶鑫，2011）
• 电子政务跨组织业务流程模型与柔性控制方法研究（国自然，叶鑫，2010）

北京理工大学其他项目

• 跨介质飞行器的空水引射冲压推进机制（国自然，魏志军，2025）
• 多车安全关键场景轻量化约束下共进化决策机理研究（国自然，高鑫，2025）
• 穿墙雷达多视角人体行为一致性表征与识别技术研究（国自然，高炜程，2025）
• 基于翼面融合式外骨骼的半机械昆虫机器人飞行调控方法研究（国自然，马志云，2025）
• 交错磁体中的拓扑磁电耦合及新奇物性调控研究（国自然，韩依琳，2025）
• 典型气候脆弱型城市的适应策略生成与稳健路径研究（国自然，陈诗薇，2025）
• 低温介质多尺度空化流动演化特性与热效应耦合机理研究（国自然，陈家成，2025）
• 仿生智能驱动退役锂电关键材料低碳高值再生探索研究（国自然，陈人杰，2025）

加工制造学科其他项目

• 带热障涂层叶片气膜孔的磁流体辅助电化学放电加工新方法及机理研究（国自然，唐伟东，2020）
• 气膜冷却孔的激光辅助毛细管电解复合加工方法（国自然，康小明，2020）
• 枪钻加工镍基合金微细深孔非线性动力学特性研究（国自然，沈兴全，2020）
• 单晶硅切片加工表面无裂纹损伤创成机理研究（国自然，葛梦然，2020）
• 旋转磁场提高微细电解加工精度的机理与工艺优化（国自然，张长富，2020）
• 超薄氮化镓晶体元件低损伤超精密磨削机理及面形控制基础研究（国自然，李琛，2020）
• 基于结构化刀具的跨尺度三维纳米结构表面加工基础理论与方法（国自然，闫永达，2020）
• 控制力比的衬底用单晶氮化镓纳米磨削损伤抑制方法及相关机理研究（国自然，吴跃勤，2020）