特种功能薄膜CVD制备过程热物理研究和新工艺探索

项目负责人王冠中
依托单位中国科学技术大学
立项年份1999
学科分类传热传质学
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥14.0万
批准号59976038

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