晶圆级单晶薄膜智能剥离与转移硅基异质集成技术研究

项目负责人欧欣
依托单位中国科学院上海微系统与信息技术研究所
立项年份2018
学科分类半导体科学与信息器件
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥300.0万
批准号61851406

工具

查询更多基金项目 | 智能选刊推荐

该负责人其他项目

中国科学院上海微系统与信息技术研究所其他项目

半导体科学与信息器件学科其他项目