同步辐射超高分辨率光栅器件制备研究

项目负责人欧欣
依托单位中国科学院上海微系统与信息技术研究所
立项年份2017
学科分类上海光源
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥230.0万
批准号U1732268

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