晶圆级硅基氧化镓单晶薄膜异质集成研究

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该负责人其他项目

• 晶圆级单晶薄膜智能剥离与转移硅基异质集成技术研究（国自然，欧欣，2018）
• 同步辐射超高分辨率光栅器件制备研究（国自然，欧欣，2017）
• 基于离子束技术的信息材料制备与改性研究（国自然，欧欣，2016）

中国科学院上海微系统与信息技术研究所其他项目

• 发展非平衡多轨道TPSC+DMFT理论方法研究低维强关联电子系统（国自然，严佳伟，2025）
• 基于高品质因子微腔自注入锁定的窄线宽太赫兹量子级联激光器研究（国自然，任丁丁，2025）
• 基于供电网络调控的高算力、易扩展超导可编程脉冲神经网络研究（国自然，任洁，2025）
• 晶圆级绝缘体上碳化硅（SiCOI）材料制备与片上色心集成研究（国自然，伊艾伦，2025）
• 基于有序多孔化组装的石墨烯膜结构缺陷解耦调控和导热性能提升研究（国自然，何朋，2025）
• 基于丝素蛋白的微创植入式多功能柔性神经界面技术研究（国自然，周志涛，2025）
• 超导单光子探测（国自然，孔令东，2025）
• 基于离子束剥离技术的可循环InP异质集成薄膜衬底及其C波段高性能片上激光器验证研究（国自然，孙嘉良，2025）

半导体材料学科其他项目

• BAs与金属半导体相互作用的研究（国自然，戴宪起，2020）
• 单晶BiVO4薄膜的选择性掺杂与载流子输运机理研究（国自然，张文瑞，2020）
• VO2基智能窗多层膜微纳米结构设计及其性能优化（国自然，周立伟，2020）
• 基于溅射法的宽禁带CuGaSe2薄膜及太阳电池异质结制备与性能研究（国自然，魏要伟，2020）
• 基于原位沉积纳米中间层的β相氧化镓-金刚石表面活化室温键合及其机理研究（国自然，母凤文，2020）
• 基于狄拉克源极的二维高迁移率InAs量子器件输运及其界面性质的研究（国自然，宁锋，2020）
• 面向相变神经元突触器件的n-p型异质结多阻态漂移微观机制及空洞自愈行为研究（国自然，王国祥，2020）
• 全耗尽绝缘体上硅(FD-SOI)材料及其制备工艺中的基础问题研究（国自然，魏星，2020）