| 项目负责人 | 欧欣 |
| 依托单位 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 立项年份 | 2016 |
| 学科分类 | 离子注入及离子束材料改性 |
| 资助来源 | 国家自然科学基金 |
| 项目状态 | 已立项 |
| 资助金额 | ¥130.0万 |
| 批准号 | 11622545 |
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