超快AFM纳米定位平台的时滞反馈主动阻尼与广义内模控制研究

项目负责人朱利民
依托单位上海交通大学
立项年份2019
学科分类微纳机械系统
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥60.0万
批准号51975375

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