微/纳光学阵列元件的约束刻蚀剂层加工技术与系统的基础研究

项目负责人朱利民
依托单位上海交通大学
立项年份2010
学科分类微纳机械系统
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥230.0万
批准号91023047

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