半导体器件氧化层电缺陷演化原位分析系统

项目负责人黄如
依托单位北京大学
立项年份2019
学科分类半导体电子器件与集成
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥5185.0万
批准号61927901

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