原位实时表征纳米材料气相生长速率的集成谐振微悬臂梁传感器研究

项目负责人于海涛
依托单位中国科学院上海微系统与信息技术研究所
立项年份2018
学科分类微纳机电器件与控制系统
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥63.0万
批准号61874130

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