飞秒激光湿法刻蚀微纳制造的基础研究

项目负责人陈烽
依托单位西安交通大学
立项年份2013
学科分类加工制造
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥320.0万
批准号51335008

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