10纳米以下图形加工的关键工艺问题研究

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该负责人其他项目

• 光功能纳米金环孔道的可靠构筑及其单分子检测应用研究（国自然，段辉高，2019）
• 基于可调谐透明导电氧化物等离激元共振的电控光束调制器件（国自然，段辉高，2018）
• 电子束纳米加工及应用技术（国自然，段辉高，2017）
• 横向隧穿电子激发局域表面等离激元发光行为研究（国自然，段辉高，2015）
• 表面等离子体共振纳米结构在原子尺度下的强耦合行为研究（国自然，段辉高，2012）

湖南大学其他项目

• 月球科研站斯特林直线电机的平衡位置偏移限位控制方法研究（国自然，龙定邦，2025）
• 散射环境中深度学习预处理赝热光的鬼成像研究（国自然，黄贤伟，2025）
• 生物医药知识与物理建模协同约束的可信药物重定位（国自然，马腾飞，2025）
• 基于机器人视觉感知的高端装备关键零部件表面缺陷检测方法研究（国自然，马云峰，2025）
• 家庭清洁能源转型与健康不平等：剥夺机制、影响效应与应对策略（国自然，谭小清，2025）
• 员工亲顾客偏离行为的多层次影响后果及其作用机制研究（国自然，董蕴，2025）
• 拉曼光谱耦合机器学习驱动快充硬碳材料高通量筛选与设计（国自然，莫英，2025）
• DOM光敏化本征量子产率谱构建及其在水体光化学自净机制中的分子解析（国自然，秦钒治，2025）

集成电路器件、制造与封装学科其他项目

• 适用于三维FinFET器件的高浓度鍺硅高迁移率沟道制备和钝化技术及机理研究（国自然，李永亮，2020）
• SiC IGBT中材料关键属性失配固晶结构的互连界面行为及互连层疲劳损伤机理研究（国自然，吴丰顺，2020）
• 高剂量辐射下纳米CMOS数字集成电路保持时间违例问题研究（国自然，吴振宇，2020）
• 面向芯片的高性能电磁屏蔽导热弹性材料的制备及其协同机制研究（国自然，胡友根，2020）
• 基于新型双表面沟道晶体管的神经元计算研究（国自然，刘春森，2020）
• 面向电力电子器件的低温低压高强度芯片连接技术研究（国自然，刘俐，2020）
• 基于电子束自加热法进行聚合物复合材料界面热阻研究（国自然，柏雪，2020）
• 纳米集成电路边缘缺陷测试分析仪研制（国自然，梁华国，2020）