纳米集成电路边缘缺陷测试分析仪研制

项目负责人梁华国
依托单位合肥工业大学
立项年份2020
学科分类集成电路器件、制造与封装
资助来源国家自然科学基金
项目状态已立项
资助金额¥755.0万
批准号62027815

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