适用于三维FinFET器件的高浓度鍺硅高迁移率沟道制备和钝化技术及机理研究

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该负责人其他项目

• 煤矿锚索微生物腐蚀致断机理与控制方法研究（国自然，李永亮，2025）
• 变异链球菌中骨架蛋白FtsZ对青霉素结合蛋白PBP2b和PBP2x的调控机制研究（国自然，李永亮，2020）
• 自动锁相达曼光栅腔直接产生多路相干光的机理研究（国自然，李永亮，2020）
• 深部大变形巷道层状顶板锚索破断机理研究（国自然，李永亮，2018）
• 金属氧化物异质结/碳纤维复合电催化材料的调控构筑及其电解水析氧性能研究（国自然，李永亮，2018）
• EAST低杂波天线端口热斑形成及其对天线损伤机理的研究（国自然，李永亮，2017）
• 腔内级联泵浦和频激光器技术研究（国自然，李永亮，2016）
• 核/壳结构的二维异质石墨烯/氧化钛复合材料的可控制备及其电化学性能研究（国自然，李永亮，2015）

中国科学院微电子研究所其他项目

• 基于超疏水纳米表面多孔硅膜的分布式热点液膜沸腾散热机理研究（国自然，付融，2025）
• 基于定序表面调控的铌超导键合界面低温构筑及机理研究（国自然，康秋实，2025）
• 用于细胞屏障精准表征的空间跨上皮电阻分析方法研究（国自然，张灵倩，2025）
• 氧化铪基铁电晶体管中基于能量耗散机制的栅结构缺陷产生过程研究（国自然，徐昊，2025）
• 基于物理随机编码的单光子阵列探测方法研究（国自然，朱精果，2025）
• 基于高纯锗键合异质结的新型硅漂移X/γ射线探测器研究（国自然，李星，2025）
• 基于电光调制光频梳的高精度原位溯源绝对测距技术研究（国自然，李润敏，2025）
• 极低抖动硅基宽带毫米波频率综合器的关键技术研究（国自然，杨尊松，2025）

集成电路器件、制造与封装学科其他项目

• SiC IGBT中材料关键属性失配固晶结构的互连界面行为及互连层疲劳损伤机理研究（国自然，吴丰顺，2020）
• 高剂量辐射下纳米CMOS数字集成电路保持时间违例问题研究（国自然，吴振宇，2020）
• 面向芯片的高性能电磁屏蔽导热弹性材料的制备及其协同机制研究（国自然，胡友根，2020）
• 基于新型双表面沟道晶体管的神经元计算研究（国自然，刘春森，2020）
• 面向电力电子器件的低温低压高强度芯片连接技术研究（国自然，刘俐，2020）
• 基于电子束自加热法进行聚合物复合材料界面热阻研究（国自然，柏雪，2020）
• 纳米集成电路边缘缺陷测试分析仪研制（国自然，梁华国，2020）
• 下一代集成电路铜互连钌基阻挡层平坦化及界面腐蚀抑制机理的研究（国自然，周建伟，2020）