适用于双工件台光刻机的高精度离焦量解耦算法研究

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该负责人其他项目

• 用于纳米尺度揭示脑胶质瘤生长机制的活体光学超分辨成像方法研究（国自然，严伟，2023）
• 功能化海泡石纤维/PEO阻燃复合固态电解质的构筑及其性能调控（国自然，严伟，2020）
• 用于在分子水平监测癌细胞和纳米药物相互作用的超分辨光学成像方法研究（国自然，严伟，2019）
• 9Cr3W3CoB系马氏体耐热钢中硼元素在热机械处理下的择优分布行为研究（国自然，严伟，2019）
• 共振磁扰动控制托卡马克等离子体芯部杂质浓度的研究（国自然，严伟，2019）
• 基于相干自适应光学的深层双光子动态荧光寿命成像研究（国自然，严伟，2015）
• 微囊藻毒素的母代转移效应所引发的斑马鱼甲状腺毒性及其分子机制（国自然，严伟，2014）
• 功率集成电路芯片与系统电磁干扰可靠性研究（国自然，严伟，2010）

中国科学院光电技术研究所其他项目

• 基于非局域超表面的波长-OAM模式多路复用器件研究（国自然，余世林，2025）
• 轻量化光电跟踪架时频联合超带宽扰动抑制方法研究（国自然，余智勇，2025）
• 涡旋光束轨道角动量与大气湍流像差分离及同步探测方法研究（国自然，唐奥，2025）
• 面向神经调控的可编程高分辨率光致声场调控技术（国自然，张若钦，2025）
• 面向复杂光场调制的高环境适应性平面光学器件基础研究（国自然，方瑶，2025）
• 物理信息神经网络驱动的可重构超表面散射机理建模与逆向调控方法研究（国自然，柏果，2025）
• 基于光镊/双锥光纤协同的微纳掩模污染物高灵敏检测（国自然，汪正坤，2025）
• 高阈值-低损耗超表面的飞秒矢量激光纳米制造方法研究（国自然，王青松，2025）

集成电路器件、制造与封装学科其他项目

• 适用于三维FinFET器件的高浓度鍺硅高迁移率沟道制备和钝化技术及机理研究（国自然，李永亮，2020）
• SiC IGBT中材料关键属性失配固晶结构的互连界面行为及互连层疲劳损伤机理研究（国自然，吴丰顺，2020）
• 高剂量辐射下纳米CMOS数字集成电路保持时间违例问题研究（国自然，吴振宇，2020）
• 面向芯片的高性能电磁屏蔽导热弹性材料的制备及其协同机制研究（国自然，胡友根，2020）
• 基于新型双表面沟道晶体管的神经元计算研究（国自然，刘春森，2020）
• 面向电力电子器件的低温低压高强度芯片连接技术研究（国自然，刘俐，2020）
• 基于电子束自加热法进行聚合物复合材料界面热阻研究（国自然，柏雪，2020）
• 纳米集成电路边缘缺陷测试分析仪研制（国自然，梁华国，2020）